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LED-减薄砂轮
- 商品编号:
- 材质:金刚石
- 结合剂:陶瓷
- 产品描述:LED-背面减薄砂轮用于蓝宝石、砷化镓方面。
- 产品描述:
产品介绍
产品特点
在半导体元器件的前段加工中,晶圆基板的减薄研磨需要用各种各样的钻石砂轮,常用的LED基板有砷化镓和人造蓝宝石(单晶氧化铝),在对这两种减薄研磨中,必须保证基板的平行度,同时整个晶圆不得有任何细微的裂纹,这就对所使用的钻石砂轮提出了很高的要求。
技术参数
Bond |
形状 Shape |
D(mm) |
W(mm) |
X(mm) |
H(mm) |
粒度 Grit Size |
用途 Application |
Vitrified |
6A2 |
150 |
3-10 |
5-10 |
M12*1.75 |
D300-3000 |
蓝宝石/砷化镓 sapphire&GaAs |
Metal |
6A9S |
254 |
4 |
8+1 |
155 |
D300-3000 |
硅晶圆回收recycling of wafers |
6A9S |
254 |
3-4 |
10+2 |
155 |
D300-400 |
蓝宝石Sapphire |
结合剂 Bond |
形状Shape |
D(mm) |
X(mm) |
U(mm) |
L(mm) |
H(mm) |
粒度 Grit Size |
用途 Application |
树脂 resin |
6A9 |
150 |
3 |
8 |
20 |
M12 |
D400-2000 |
GaAs |